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一、磁控溅射的工作原理:磁控溅射是一种常用的物理气相沉积(PVD)的方法,具有沉积温度低、沉积速度快、所沉积的薄膜均匀性好,成分接近靶材成分等众多优点。磁控溅射的工作原理是:在高真空的条件下充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或..
Nano-Master的远程微波等离子体化学气相沉积(PECVD)系统应用范围广泛,包含:基片或粉体的等离子诱导表面改性等离子清洗粉体或颗粒表面等离子聚合SiO2,Si3N4或DLC及其他薄膜CNT和石墨烯的选择性生长单晶或多晶金刚石生长 微波模块:NA..