企业信息

    那诺-马斯特中国有限公司

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  • 公司认证: 营业执照已认证
  • 企业性质:港、澳、台商投资企业
    成立时间:2015
  • 公司地址: 上海市 徐汇区 凌云街道 徐汇区虹梅南路126弄翡翠别墅23号
  • 姓名: 张经理
  • 认证: 手机已认证 身份证未认证 微信已绑定

    ald原子层沉积 NLD-3000原子层沉积系统 那诺-马斯特

  • 所属行业:电子 电子产品制造设备 半导体设备
  • 发布日期:2024-04-22
  • 阅读量:157
  • 价格:面议
  • 产品规格:不限
  • 产品数量:不限
  • 包装说明:不限
  • 发货地址:上海徐汇凌云  
  • 关键词:ald原子层沉积,原子层沉积设备,原子层沉积系统,ald原子层沉积系统

    ald原子层沉积 NLD-3000原子层沉积系统 那诺-马斯特详细内容


    NLD-3000原子层沉积系统概述:原子层沉积是一项沉积薄膜的重要技术,具有广泛的应用。ALD原子层沉积可以满足精确膜厚控制以及高深宽比结构的保形沉积,这方面ALD原子层沉积远**过其它沉积技术。由于前驱体流量的随意性不会带来影响,所以在ALD原子层沉积中有序、自限制的表面反应将会带来非统计的沉积。这使得ALD原子层沉积膜保持高度的光滑、连续以及无孔的特性,可以提供优异的薄膜性能。ALD原子层工艺也可以实现到大基片上。


    NLD-3000原子层沉积系统特点:NLD-3000是一款独立的PC计算机控制的ALD,带Labview软件,具备四级密码控制的用户授权保护功能。系统为全自动的安全互锁设计,并提供了强大的灵活性,可以用于沉积多种薄膜(如:AL2O3, AlN, TiN, ZrO2, LaO2, HfO2,等等)。应用领域包含半导体、光伏、MEMS等。NLD-3000系统提供12”的铝质反应腔体,带有加热腔壁和气动升降顶盖,非常方便腔体的访问和清洁。该系统拥有一个载气舱包含多达7个50ml的加热汽缸,用于前驱体以及反应物,同时带有N2或者Ar作为运载气体的快脉冲加热传输阀。


    NLD-3000选配:NLD-3000系统的选配项包含自动L/UL上下载(用于6”基片),ICP离子源(用于等离子增强的PEALD),臭氧发生器,等等。


    NLD-3000应用:

    Oxides氧化物: Al203, HfO2, La2O3, SiO2, TiO ZnO, In2O3,etc

    Nitrides氮化物: AlN, TiN, TaN, etc..

    Photovoltaic and MEMS applications光伏及MEMS应用.

    Nano laminates纳米复合材料



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    欢迎来到那诺-马斯特中国有限公司网站, 具体地址是上海市徐汇区凌云街道徐汇区虹梅南路126弄翡翠别墅23号,联系人是张经理。 主要经营表面处理相关产品。 单位注册资金单位注册资金人民币 100 - 250 万元。 我们的宗旨是:“用*的服务,使用户得到优质的效益,用优质的技术,为用户提供优质的产品”,选择我们,选择是您正确的决定!我们主要供应磁控溅射系统,刻蚀系统,清洗去胶系统等,如果您感兴趣,可以来电咨询订购!