企业信息

    那诺-马斯特中国有限公司

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  • 公司认证: 营业执照已认证
  • 企业性质:港、澳、台商投资企业
    成立时间:2015
  • 公司地址: 上海市 徐汇区 凌云街道 徐汇区虹梅南路126弄翡翠别墅23号
  • 姓名: 张经理
  • 认证: 手机已认证 身份证未认证 微信已绑定

    NMC-4000MOVPE设备 那诺-马斯特

  • 所属行业:电子 电子产品制造设备 半导体设备
  • 发布日期:2024-04-22
  • 阅读量:53
  • 价格:面议
  • 产品规格:不限
  • 产品数量:不限
  • 包装说明:不限
  • 发货地址:上海徐汇凌云  
  • 关键词:MOCVD设备,金属**化学气相沉积,等离子体辅助MOCVD,CVD设备,MOVPE设备

    NMC-4000MOVPE设备 那诺-马斯特详细内容


    MOVPE设备概述:

        MOVPE,也就是大名鼎鼎的MOCVD(金属**物化学气相沉积), 针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属**化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有加热的气体管路、5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、950度样品台三个气体环、PC全自动控制、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、 250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空),完全的安全互锁。

        目前,NANO-MASTER(那诺-马斯特)的这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。


    MOVPE设备型号:

    台式系统

    5个带独立冷却槽的起泡器

    加热的气体管路

    950 °C样品台,2"晶圆片

    3个气体环

    RF等离子源,带淋浴头气体分布

    工艺完成后N2自动冲洗

    极限真空5x10-7Torr

    250 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵

    通过LabView软件实现PC计算机全自动控制

    菜单驱动,4级密码访问控制

    完整的安全联锁


     配置:

    独立系统

    14"不锈钢立方体腔体

    1次在8"样品台上处理1个6"晶圆片或在12"样品台上处理5片4"片子

    加热的气体管路

    RF等离子源,自动调谐

    淋浴头气体分布

    1100°C的旋转样品台

    N2冲洗

    手动或自动的晶圆片上下载

    可以兼容到集群配置中


    应用

    3到5族半导体层

    蓝色发光二极管

    激光二极管

    紫外-可见光谱光电中的氮化铟纳米棒

    3D或2D材料中的二硫化钼、氮化硼、石墨烯



    http://17317363700.b2b168.com
    欢迎来到那诺-马斯特中国有限公司网站, 具体地址是上海市徐汇区凌云街道徐汇区虹梅南路126弄翡翠别墅23号,联系人是张经理。 主要经营表面处理相关产品。 单位注册资金单位注册资金人民币 100 - 250 万元。 我们的宗旨是:“用*的服务,使用户得到优质的效益,用优质的技术,为用户提供优质的产品”,选择我们,选择是您正确的决定!我们主要供应磁控溅射系统,刻蚀系统,清洗去胶系统等,如果您感兴趣,可以来电咨询订购!